1. LMS(Logistics Management System) 물류관리 시스템은 주로 생산공정의 프로세스 관리 및 온라인 트레이 관리 담당;
2. 그래픽 인터페이스 제공, 표준 공정 프로세스 제정 및 각 공정의 매개변수 배치 실현;
3. 온라인 트레이 관리, 공정 변경, 정지 시간 조정, 이상 배출 등 포함;
4. 재고 관리에 저장 구역 관리, 챔버 관리, 챔버 분배 기술, 챔버 모니터링 등 포함;

지능화, 프로세스 추적, 전체 라인 파악;