언어
한국어 EN 中文 日本語
OA 로그인 기업 이메일 조달 시스템
홈
회사소개
글로벌 이노베이션
제품 & 솔루션
뉴스센터
인재채용
문의
투자자관계
언어 선택
직원 액세스
돌아오다
언어 선택
돌아오다
인라인 확산/어닐링 자동 로더 언로더
제품 정보：
인라인 확산/어닐링 자동 로더 언로더는 확산 전의 실리콘 웨이퍼를 웨이퍼 캐리어에서 석영 보트에 자동 배치한 후 확산로로 자동 이송하며, 실리콘 웨이퍼가 확산된 후 확산된 실리콘 웨이퍼를 석영보트에서 웨이퍼 캐리어에 자동으로 배치하는 설비입니다.
제품 장점：
1. 속도: 12000pcs/h;
2. 매우 낮은 파손률: ≤ 0.02%;
3. 흡입 컵 자국, 브래킷 자국 등 종합 NG율: ≤ 0.02%;
4. 각형 보트 및 능형 보트 호환;
5. 2.38~3.15mm의 서로 다른 피치 사양의 석영 보트 적용;
높은 생산 능력
낮은 파손률