언어
한국어 EN 中文 日本語
OA 로그인 기업 이메일 조달 시스템
홈
회사소개
글로벌 이노베이션
제품 & 솔루션
뉴스센터
인재채용
문의
투자자관계
언어 선택
직원 액세스
돌아오다
언어 선택
돌아오다
인라인 튜브식 PECVD 로딩&언로딩기
제품 정보：
인라인 튜브식 PECVD 로딩/언로딩기는 실리콘 웨이퍼를 웨이퍼 캐리어에서 PECVD 흑연 보트로, 또는 PECVD 흑연 보트에서 실리콘 웨이퍼 캐리어로 자동 적재하는 설비입니다.
제품 장점：
1. 속도: 6000pcs/h;
2. 매우 낮은 파손률: ≤0.03%;
3. PL 스테이션 미리 남겨두어 에어리어 스캔 및 라인 스캔 AOI 카메라와 호환 가능;
4. Softtouch 다자인 컨셉으로 실리콘 웨이퍼 파편률 낮춤;
자동 적재
낮은 파손률
높은 생산능력