ウエハーIDマーキングマシンは高精度モーションプラットフォームと完全クローズドループ数値制御システム、高解像度CCD画像位置決め技術とAOI検査機能を採用し、ウエハーIDマーキングと全自動ウエハーローディング、アンローディングに使用でき、設備は完全に独立した知的財産権を有している。

1. ビジョン：±20um、プラットフォームの繰り返し：±10um、機械全体の精度：±125um。
2.8インチ、12インチウェハーに対応。
3. 出力検出、リアルタイム補正に対応;。
4. レーザー：特注レーザー、空冷式、モジュール化設計。
5. 実際のニーズに基づいて、各部品をカスタマイズすることができ、お客様のニーズに応じて、オプションで他の機能を追加することができる。