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統合された表面クリーニング
製品説明：
3C、半導体製品のほこり、指紋、油分、接着剤残渣の除去、表面活性化に用いられる。
製品メリット：
欠陥検出、化学薬品を使用しないで洗浄、<10μmの非粘着ダストを除去することができる。
欠陥検出、化学溶剤洗浄がなし