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オンラインタンク式パイルローダーおよびアンローダー
製品説明：
シリコンウェーハをウェーハカセットからリンティングクリーナーへ自動供給する装置。
製品メリット：
1. 速度： 10,000&16,000枚/時間。
2. 非常に低い破損： ≤0.01%。
3. 開口率は最大98.5％：耐腐食設計により、過酷な環境下でも長寿命と高い信頼性を保障。
4. 設計がコンパクト、省スペース。
高い生産能力、低破損率、省スペース