チェーン式BSG洗浄機・アルカリ研磨エッチング洗浄機
製品説明:
N型単結晶シリコン太陽電池用シリコンウェーハにボロンを拡散させた後、チェーン式搬送方式により片面BSGを除去した後、タンク方式により化学的腐食研磨エッチングを行い、洗浄、乾燥処理を行い、両面セルと組み合わせてパイル化、洗浄、乾燥処理などに使用される。
製品メリット:
1.
182伝動6+6と210伝動5+5の互換構造設計を採用し、設備の安定性を高め、乱れと変形が小さく、メンテナンスが便利;
2. カスタムエッチング溝付き液体ローラー、きれいに除去して、オーバーエッチングを減らす;
3. 水洗いは浸漬+スプレー+純水スプレー方式を採用して、きれいに洗う;
4. 生産能力:9600枚/時間以上、10本400pcs/スロット;11000枚/時間以上、10本464pcs/スロット以上、210&182と交換性がある;
高い稼働率、高い互換性