ウエハーレーザースロット装置はカスタマイズされたシリコンスクライビング特殊レーザーを採用し（Ns&Psはオプション）、高速で精密なリニアモーター2次元プラットフォームと完全なクローズドループCNCシステム、高解像度CCD画像位置決め技術を採用し、マルチビームシェーピング加工を行い、独自の光学システムを設計し、高品質のウエハー表面切断を実現し、製品は独立した知的財産権を有する。

1. 幅広い光源が選択でき、材料の互換性が広い。
2. 高い多点回折効率、より効率的な光路とレーザー制御システム。
3. 新しい自動ハンドリングシステムにより、チップ落下をなくす。
4. 安定したレーザーとモーションクローズループ制御システム。
5. 連続可変スポットおよび切断幅。
6. 切断経路の自動修正と早期警告システム。
7. 効率と効果を高めるために、洗浄とコーティングのための二重ドラム設計。